产品介绍:

产品特征:

最大行程4m x 4m

以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台

良好接地设计防止杂讯干扰

Z向震动可达奈米等級以下

最大速度可达5m/s

标准重現精度1um或以下50nm

位置回馈系统解析度最低可达

产品应用:

半导体设备 自动化搬送 FPD设备 太阳能制造设备 PCB设备 水刀设备 钻石切割设备 AOI检测设备 工具机